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等離子清洗機常用頻率區(qū)別與運用

更新時間:2018-03-21       點擊次數(shù):3042

離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

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目前常用等離子體激發(fā)頻率有40kHz、13.56MHz2.45GHz三種。

40kHz、13.56MHz2.45GHz等離子體激發(fā)頻率區(qū)別

激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體,發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng);

激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng);

激發(fā)頻率為2.45GHz的等離子體為微波等離子體,其發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。

40kHz、13.56MHz2.45GHz等離子體激發(fā)頻率運用

激發(fā)頻率為40kHz的等離子體超聲等離子體清洗以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗,也叫做濺射腐蝕(SPE)或離子銑(IM),其優(yōu)點在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng),清潔表面不會留下任何的氧化物,可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性。超聲等離子體清洗對被清潔表面產(chǎn)生的影響zui大,因而實際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。而超聲等離子則應(yīng)用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果*。典型的等離子體物理清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗。氬氣本身是惰性氣體,等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng),而是通過離子轟擊使表面清潔。

激發(fā)頻率為2.45GHz的等離子體微波等離子體典型的等離子體化學(xué)清洗工藝,是氧氣等離子體清洗。通過等離子體產(chǎn)生的氧自由基非?;顫?,容易與碳氫化合物發(fā)生反應(yīng),產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物,從而去除表面的污染物。主要用于科研方面及實驗室。

激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體清洗是表面反應(yīng)機制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用,即反應(yīng)離子腐蝕或反應(yīng)離子束腐蝕,兩種清洗可以互相促進,離子轟擊使被清洗表面產(chǎn)生損傷削弱其化學(xué)鍵或者形成原子態(tài),容易吸收反應(yīng)劑,離子碰撞使被清洗物加熱,使之更容易產(chǎn)生反應(yīng);

目前美國CIF公司所主要生產(chǎn)激發(fā)頻率為40kHz13.56MHz等離子清洗機,了解更多產(chǎn)品信息請參閱CIF*www.cif-china。。com

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